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生產(chǎn)型磁控機(jī)
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規(guī)格&簡介
G4.5 IN-LINE 磁控機(jī) | |
基板尺寸 | 500x1500mm glass |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 金屬、ITO或者其它無機(jī)膜材沉積 |
基底溫度 | 120℃-450℃ |
溫度均勻性 | ±3℃@150℃ |
膜厚均勻性 | ≦±5% for ITO deposition |
≦±3% for Cu deposition | |
膜厚重復(fù)性 | ≦±2% |
極限真空度 | ≦5x10-7 torr within 16hrs |
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